هالوكربون-41 فلوريد الميثيل

الفلوروميثان ، المعروف أيضًا باسم الفلوريد الميثيل ، Freon 41 ، Halocarbon-41 و HFC-41 ، هو غاز غير سامة ، قابل للمساء ، قابل للاشتعال في درجة حرارة وضغط قياسي. وهي مصنوعة من الكربون والهيدروجين والفلور . ينبع الاسم من حقيقة أنه الميثان (CH ₄ ) مع ذرة الفلور التي يتم استبدالها لواحدة من ذرات الهيدروجين.

يتم استخدامه في صناعة أشباه الموصلات والمنتجات الإلكترونية. في وجود فلوروميثان في حقل RF سوف ينفصل في أيونات الفلورايد التي تحفر بشكل انتقائي أفلام مركبة السيليكون ( حفر أيون التفاعل ).